光学元件加工亚表面控制方法研究
摘要:光学元件加工亚表面控制方法研究
亚表面损伤检测的意义 现代短波光学、强光光学、电子学及薄膜科学等学科的发 展对所需材料的表面质量的要求越来越高,尤其是强激光技术对 光学元件加工中表面粗糙度的要求极为苛刻,要求表面达到超光滑表面 的标准。所谓超光滑表面是指均方根表面粗糙度小于lnm的表面, 其特征为表面无任何破损和划痕、亚表层无破坏、无表层应力。 超光滑表面加工的对象为晶体、玻璃和陶瓷等硬脆性材料。 一般来说,大部分硬脆材料不能通过类似金属铸造或塑性或光学元件加工的方法来加工,只有采用超精密加工方法,才可以达到较好的超光滑表面。
在传统光学加工过程中产生的亚表面损伤(SSD)会降低光学元件的使用性能和寿命,需要对其亚表面损伤进行检测从而在光学元件加工过程中加以控制。从破坏性和非破坏性检测方法两方面概括性地分析了光学元件亚表面损伤的检测技术,对各种检测方法进行了分析和讨论,并指出了各种方法的优缺点。指出了国内的亚表面损伤检测技术与国际先进水平相比存在的差距,并分析了亚表面损伤检测技术的发展趋势。
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