环抛机机床误差与元件加工精度之间的关系分析
作者:MARK    发布于:2020-04-12 00:39:23    文字:【】【】【
摘要:环抛机机床误差与元件加工精度之间的关系分析

      昨天看到一篇文章,关于平面快速抛光机床的的误差对元件加工精度的影响规律(详见本文底部附件),有所启发,今天来讨论一下环抛机床误差与元件加工精度的关系,我只提出几个问题。

1、是否只有绝对平的胶盘才能加工出高精度元件?

咋一看,好像很正确,但是这是一种绝对的理想主义。元件发热变形、沥青胶层受力形变、校正盘的作用、校正盘自身磨削、元件受力变形等等很多的因素被剔除了。

2、那有没有一种情况,环抛机大盘精度不太好,也能做出高精度元件?

答案是肯定的,如果大家对国外机床有所了解和使用,会遇到这种情况。核心是机床自身的一些小闭环系统能够补偿元件精度,这些小系统及参数反馈控制技术,才是真正的技术所在,我现在也在致力于此。

3环抛机机床精度越高,元件精度也能越高?

   答案是当然肯定的。

4、那么环抛机机床精度提高是否是元件精度提高的唯一途径?

   答案是否定的。举个例子,光刻机刻出来的线宽是3纳米,难道光学元件的精度能达到甚至高于3纳米?工艺在光学加工中的重要性可以弥补机床精度的不足。


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