大口径平面镜的主要加工方式及利弊分析
作者:MARK    发布于:2020-05-06 08:37:22    文字:【】【】【
摘要:大口径平面镜的主要加工方式及利弊分析

大口径平面镜主要指直径大于φ300mm的平面镜,包括反射镜和透射窗口。这里给大家简单介绍一下目前国内的几种主流加工方式:

1、单轴机加工

     优势:设备造价低,加工过程中元件可以不下盘进行检测,操作相对方便;

     弊端:精度低,可控性差,周期长。

     这种方式一般用于面形低于三分之一波长(632.8nm)的元件。

2、环抛机加工

     优势:元件面形渐变可控,中高频误差等指标基本属于全指标合格,不会在某一指标上出现短板。

     弊端:质量、精度、周期与厂家技术能力紧密相关,需要找到一家像我们这种靠谱的企业,能够保证在短期内获得高精度高质量元件。

     这种方式是目前的主流加工方式。

3、小工具加工(小磨头、磁流变、气囊抛光等)

    优势:确定性抛光,加工周期和PV值可控。

    弊端:无法做到全指标合格,比如中高频误差不理想等;对元件的输入面形有一定要求。

    目前这些小工具加工方式在国内被广泛采用。

4、无接触式加工(离子束、射流抛光等)

    优势:确定性抛光,加工效率高;

    弊端:各有各的,比如离子束发热等问题

    目前这类抛光方式也已开始应用。

脚注信息
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