平面环抛机能否加工厚度很薄的光学元件
作者:MARK    发布于:2020-05-17 12:39:25    文字:【】【】【
摘要:平面环抛机能否加工厚度很薄的光学元件

在回答这个问题前,有2个先决问题要明确,何为薄件?加工精度多少?这里先定义一下:通常意义上径厚比20:1的的元件均已属于光学薄件了。现在的超薄元件的加工精度很多均约束在等厚的概念和波前透射,至于反射精度已较少被提及,但是恰恰薄件的反射面形是最难的。所以我们针对反射面形来回答文前的问题。

1、回答是肯定的,当然能做。

    但是,这里涉及到很多的工艺,日本人用环形控压的方式来解决,中国人用光胶、点胶等老工艺来解决等等,这些都是依靠工艺最后利用环抛机成功解决了薄件的反射面形加工难题。

2、加工精度可以达到什么量级?

   曾经在一份日本文献上看到,12英寸,3mm厚度的石英元件反射精度做到0.15波长(632.8),这已可以秒杀国内绝大多数光学加工厂了。

   最近一直在做薄件的加工试验,有兴趣的朋友可以多交流。

脚注信息
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