大口径平面镜主要指直径大于φ300mm的平面镜，包括反射镜和透射窗口。这里给大家简单介绍一下目前国内的几种主流加工方式：

1、单轴机加工

     优势：设备造价低，加工过程中元件可以不下盘进行检测，操作相对方便；

     弊端：精度低，可控性差，周期长。

     这种方式一般用于面形低于三分之一波长（632.8nm）的元件。

2、环抛机加工

     优势：元件面形渐变可控，中高频误差等指标基本属于全指标合格，不会在某一指标上出现短板。

     弊端：质量、精度、周期与厂家技术能力紧密相关，需要找到一家像我们这种靠谱的企业，能够保证在短期内获得高精度高质量元件。

     这种方式是目前的主流加工方式。

3、小工具加工（小磨头、磁流变、气囊抛光等）

    优势：确定性抛光，加工周期和PV值可控。

    弊端：无法做到全指标合格，比如中高频误差不理想等；对元件的输入面形有一定要求。

    目前这些小工具加工方式在国内被广泛采用。

4、无接触式加工（离子束、射流抛光等）

    优势：确定性抛光，加工效率高；

    弊端：各有各的，比如离子束发热等问题

    目前这类抛光方式也已开始应用。